鸟嘴效应

鸟嘴效应的词语属性

鸟嘴效应的百科含义

LOCOS工艺中，由于氧在二氧化硅中的扩散是一个等向性过程，因此，氧也会通过氮化硅下面的衬垫二氧化硅层进行横向扩散，在靠近刻蚀窗口的氮化硅层底下就会生长出二氧化硅。

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