软光刻是指各种使用软印模来进行图形光刻的工艺技术合集，这些工艺技术包括微接触印刷（μCP）、纳米压印光刻（NIL）、模塑成型（REM）、微转移成型（μTM）、毛细管微成型（MIMIC）、以及溶剂辅助微成型（SAMIM）等。 软光刻技术使得纳米尺度三维结构的制造称为可能。