衍射光学元件

衍射光学元件的词语属性

衍射光学元件的百科含义

衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。

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