苔藓动物化石一般出现于奥陶纪，虽然在寒武纪地层中发现了少数与苔藓动物相似的标本，但未确定是苔藓虫。早奥陶世苔藓虫还比较少，中奥陶世大为发展，7目中6个目已经出现。其中变口目和隐口目特别发育，泡孔目和栉口目在此时期并不重要。