离子探针是指利用气体产生的离子轰击样品表面，对激发出的二次离子进行化学元素及同位素成分分析的仪器。从氯到铀的元素均可用离子探针进行分析，补充了电子探针元素分析范围有限及灵敏度偏低的不足。离子探针可进行表面分析、近浅表面的深度分析、体积分析和图象分析，但定量的精度不如电子探针。