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磁控溅射法

磁控溅射法
拼音
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汉字拆解

词语解释

磁控溅射法的词语属性

拼音cí kòng jiàn shè fǎ
拼音字母ci kong jian she fa
拼音首字母ckjsf

磁控溅射法的百科含义

磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。

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