界面态是指硅-二氧化硅界面处而能值位于硅禁带中的一些分立或连续的电子能级或能带。它们可在很短的时间内和衬底半导体交换电荷，故又称快界面态。称为快表面态的原因是为了和由吸附于二氧化硅外表面的分子/原子等所引起的外表面态加以区分。