电动超声波抛光的原理是：通过换能器将输入的超音频电信号转换成机械振动，经变幅杆放大后，传输至装在变幅杆上的工具头，带动附着在工具头上的金刚石等磨料高速磨擦工件，致使工件表面粗糙度迅速降低，从而实现抛光的功能。振动的工具头还可以带动磨料悬浮液，高速研磨工件表面，使其迅速达到镜面，从而解决了用铜质、竹质和木质工具头高速研磨的问题。