激光微探针laser microprobe以激光器输出的光束聚焦在非导体材料上进行激发，产牛发时光谱:在质谱技术‘}，也可用激光微探针气化样品。样品靶卜仅产生$UUr.em直径的斑点，用于微区分析，不破坏样utree