氧氮处理工艺是兼有蒸汽处理与渗氮处理的优点。其渗层表面是氧化层，能增加工件的散热能力并具有润滑作用。向内是渗氮层，具有高的硬度和耐磨性。又由于水蒸气的稀释作用，渗氮层中氮含量较低，避免了单一渗氮时渗层的脆性的一种工艺。氧氮处理工艺适用于高速钢制刀具，能明显提高使用寿命，在切削较硬材料时效果尤为显著的。