微型隔膜泵指的就是微型真空泵，指具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，内部通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动，并且在进口处能够持续形成真空或负压，排气嘴处形成微正压；工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。