四氟化硅（silicon tetrafluoride），也叫氟化硅，分子式为SiF4，分子量为104.06。它的分子结构是：Si原子以sp3杂化轨道形成σ键，分子形状为正四面体形，它的分子式为SiF4，分子量为104.06，它的密度是1.590，储存需要避免强酸，避免潮湿空气。