六甲基磷酰胺是聚氯乙烯的耐候溶剂和优良的极性溶剂，对农用薄膜的耐低温防老化具有显著效果。2017年10月27日，世界卫生组织国际癌症研究机构公布的致癌物清单初步整理参考，六甲基磷酰胺在2B类致癌物清单中。