全氟化合物

全氟化合物的词语属性

全氟化合物的百科含义

PFC是指全氟化合物，在半导体制造领域，主要是在CVD工序中做为清洁气体使用和在干法刻蚀工序中作为工艺气体使用。其由于能破坏地球的臭氧层产生温室效应已经被列为减少排出对象。

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