低能电子衍射（英语：Low-energy electron diffraction，LEED）是一种用以测定单晶表面结构的实验手段，使用准直的低能电子束（20–200 eV）[1]轰击样品表面，可在荧光屏上观测到被衍射的电子所形成的光斑，进而表征样品的表面结构。