二次离子质谱法是指当初级离子束（Ar+，O2+，N2+, O-，F-，N -或Cs+等） 轰击固体试样表面时，它可以从表面溅射出各种类型的二次离子，利用离子在电场，磁场或自由空间中的运动规律，通过质量分析器，可以使不同质荷比的离子分开，经分别计数后可得到二次离子强度-质荷比关系曲线的分析方法。